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天水射频匹配器维修原理是什么?

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天水射频匹配器维修原理是什么?

发布日期:2019-04-04 作者: 点击:

射频匹配器维修原理是什么?天水信创作为专业射频匹配器维修公司告诉你几点:

射频匹配器维修

    射频匹配是在一个超净室圆简腔体里,采用物理气相沉积法,将高电荷态的离子溅镀到纯硅晶圆上来加以实现的。现在我们要给这个腔体提供射频电源。在射频电源维修凤凰体彩APP时候一样为了使得电源功率得到最大传输,我们采用射频匹配器,来匹配射频发生器和负载腔体的阻抗。本课题所设计的即为射频匹配器(Radio FrequencyMatch)。

射频匹配器的作用是将13. 56MHIZ的信号从高功率射频发生器耦合到负载,如腔体。这个负载的特点是:它的阻抗随控体中运行过程的参数而变化的。

这个匹配器检测腔体负载的状态,调节可变电容和可变电感的位置,以提供最大功率给腔体,也就是说,反射回到射频发生器的功率最小化了。

  射频电源维修的性能要求如下:

(1)检测板中,从射频发生器出来的信号其传输功率在0~1000w之间,其反射功率也在0~1000W之间。

凤凰体彩APP(2)控制板中, 从射频发生器出来的传输信号的电压在-12~+12V之间,其反射信号在0~0.5V之间。

凤凰体彩APP(3)电源有严 格的电压输入值。

凤凰体彩APP(4)可变电感调谐的预设置为-5V~+5V

(5)可变电感调谐电位 器设置为-12V~+12V

凤凰体彩APP(6)在组装这样的匹配器时, 在注意很多关键步骤.如可变电容的叶片和可变电感电感刀片系统的结构原理


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